薄膜厚度精密测试检测

检测项目

光学干涉法厚度测量：利用光干涉条纹计算厚度，测量范围0.1nm至100μm，精度±0.1nm。

椭偏仪测量：通过分析偏振光变化测定厚度和光学常数，适用于透明薄膜，精度±0.01nm。

X射线荧光测厚法：基于X射线荧光强度与厚度的关系，测量范围1nm至50μm，精度±1%。

超声波厚度测量：利用超声波在材料中的传播时间，范围0.1mm至10mm，精度±0.1%。

机械探针式测厚仪：接触式测量表面高度差，范围1μm至1mm，分辨率0.1μm。

电容法厚度测量：通过测量电容变化推断厚度，范围0.1μm至1mm，精度±0.5%。

磁感应测厚法：用于磁性基材上的非磁性涂层，范围0.1μm至10mm，精度±1%。

红外光谱法：利用红外吸收光谱分析薄膜厚度，范围0.1μm至100μm，精度±0.1μm。

扫描电子显微镜：提供高分辨率横截面成像，分辨率可达1nm。

原子力显微镜：纳米级表面形貌测量，分辨率0.1nm。

检测范围

半导体薄膜：用于集成电路和微电子器件制造。

光学涂层：抗反射涂层和光学滤光片应用。

包装材料：塑料薄膜用于食品和药品包装。

医疗器械涂层：植入物表面的生物相容性涂层。

汽车漆面：车辆保护性和装饰性涂层。

太阳能电池薄膜：光电转换层在太阳能电池中。

显示技术：OLED和LCD显示薄膜。

磁性存储介质：硬盘驱动器涂层用于数据存储。

防腐涂层：金属表面防腐保护层。

纳米薄膜：超薄材料用于高科技应用。

检测标准

ASTM B499: JianCe Test Method for Measurement of Coating Thickness by the Magnetic Method

ISO 2360: Non-destructive testing — Measurement of coating thickness — Eddy current method

GB/T 11354: 钢铁零件渗氮层深度测定方法

ISO 1463: Metallic and oxide coatings — Measurement of coating thickness — Microscopical method

ASTM D1005: JianCe Test Method for Measurement of Dry-Film Thickness of Organic Coatings Using Micrometers

ISO 2808: Paints and varnishes — Determination of film thickness

GB/T 4956: 磁性基体上非磁性覆盖层厚度测量 磁性法

检测仪器

光学干涉仪：非接触测量设备，利用光干涉原理，分辨率可达纳米级。

椭偏仪：用于测量薄膜光学常数和厚度，精度高。

X射线荧光测厚仪：基于X射线技术，测量金属涂层厚度。

超声波测厚仪：便携式设备，利用超声波测量较厚涂层。

扫描探针显微镜：提供纳米级分辨率测量，包括原子力显微镜功能。