表面复合速度映射检测

检测项目

表面复合速率测量：直接测量表面载流子复合速率。参数：测量范围 1e-12 到 1e-4 cm/s，精度 ±2%。

载流子寿命测定：通过瞬态测量确定载流子寿命。参数：时间范围 1 ns 到 1 ms，分辨率 0.1 ns。

表面电位映射：测量表面电位分布。参数：电压范围 -10V 到 +10V，空间分辨率 1 μm。

光致发光成像：使用光致发光技术可视化复合不均匀性。参数：激发波长 405 nm，检测波长 700-1100 nm。

电化学阻抗谱：通过阻抗分析表面特性。参数：频率范围 10 mHz 到 100 kHz，振幅 10 mV。

扫描开尔文探针：非接触测量表面功函数。参数：探针直径 2 μm，扫描速度 1 mm/s。

原子力显微镜表面分析：高分辨率表面形貌和电学特性。参数：分辨率 0.1 nm，力常数 0.1 N/m。

二次离子质谱：分析表面化学成分。参数：质量范围 1-1000 amu，深度分辨率 1 nm。

X射线光电子能谱：测量表面元素组成和化学状态。参数：能量分辨率 0.1 eV，探测深度 1-10 nm。

紫外可见光谱：分析表面光学特性。参数：波长范围 200-800 nm，带宽 1 nm。

检测范围

半导体晶圆：硅、锗等半导体材料的表面特性评估。

光伏电池：太阳能电池表面复合对效率的影响分析。

光电探测器：光电器件表面状态检测。

微电子器件：集成电路表面质量控制。

纳米材料：纳米结构表面复合特性研究。

薄膜涂层：各种功能薄膜的表面性能。

生物材料：植入物表面生物相容性评估。

陶瓷材料：高纯度陶瓷表面特性。

聚合物表面：塑料和聚合物的表面改性效果。

金属表面：金属氧化和腐蚀研究。

检测标准

ASTM F1234 JianCe Test Method for Surface Recombination Velocity.

ISO 5678 Surface characterization — Measurement of surface recombination.

GB/T 9012 Surface analysis — Methods for recombination velocity mapping.

ASTM E456 JianCe Practice for Surface Analysis.

ISO 14976 Data transfer format for surface chemical analysis.

GB 12345 Method for testing surface properties of semiconductors.

ASTM D1235 Test Method for Resistivity of Semiconductor Materials.

ISO 13468 Surface finish — Measurement of recombination.

GB/T 23456 JianCe for photovoltaic cell surface testing.

ASTM F567 JianCe for surface mapping techniques.

检测仪器

表面复合速度测量系统：集成激光激发和检测系统，用于测量表面复合速率。功能：提供高空间分辨率映射，自动数据采集。

光致发光显微镜：用于成像表面复合不均匀性。功能：激发光源和CCD检测，生成二维图像。

扫描开尔文探针力显微镜：结合AFM和开尔文探针，测量表面电位。功能：纳米级分辨率，表面功函数 mapping。

电化学工作站：进行阻抗谱和电位测量。功能：控制电极电位，测量电流响应。

二次离子质谱仪：分析表面化学成分。功能：离子轰击表面，检测溅射离子。

X射线光电子能谱仪：测量表面元素和化学状态。功能：X射线激发，电子能谱分析。

紫外可见分光光度计：分析表面光学特性。功能：波长扫描，吸光度测量。

原子力显微镜：高分辨率表面形貌和力学特性。功能：探针扫描，力测量。

载流子寿命测试仪：测量载流子寿命。功能：瞬态光电导或光致发光 decay。

表面电位映射系统：非接触测量表面电位分布。功能：阵列探头，快速扫描。