反射镜面形精度分析检测

检测项目

表面粗糙度：评估镜面微观不平度，具体检测参数包括算术平均偏差Ra值范围0.1nm至10μm，最大高度Rz值。

曲率半径：测量镜面弯曲程度，参数为曲率半径值单位毫米，测量精度达0.1%。

面形误差：量化实际形状与理想形状的偏差，参数包括峰谷值PV和均方根值RMS，通常以波长分数表示。

波前误差：通过干涉仪测量光学波前变形，参数为波前差单位波长，检测灵敏度达λ/100。

斜率误差：检测表面斜率变化，参数为角度偏差单位度，测量范围±5度。

焦距：确定镜面焦点位置，参数为焦距值单位毫米，精度0.1mm。

像散：评估镜面像散程度，参数为像散系数，测量像散焦量。

彗差：测量彗形像差，参数为彗差量，通常以横向位移表示。

球差：评估球面像差，参数为球差系数，量化焦点模糊。

表面缺陷：检查划痕、麻点等瑕疵，参数为缺陷密度个/cm²和最大尺寸μm。

检测范围

天文望远镜镜面：用于天文观测的大型反射镜，要求高面形精度。

激光谐振腔镜：激光系统中的高反射镜，需低波前误差。

光学仪器镜片：如显微镜和望远镜的镜片组件。

汽车头灯反射镜：车辆照明系统的镜面，注重曲率一致性。

卫星光学系统：航天器遥感仪器的反射镜，环境适应性要求高。

医疗内窥镜镜面：医疗器械中的光学表面，需要高清洁度。

工业检测镜面：用于质量控制的镜面，常见于自动化检测设备。

投影仪反射镜：显示设备中的镜面，要求低像差。

军事光学设备：如瞄准镜的镜面，需坚固设计。

科研实验镜面：实验室高精度光学实验用的镜面，多种形状和尺寸。

检测标准

ISO 10110-5:2015 光学和光子学元件制图 第5部分:表面形貌公差

ASTM F1048-87(2018) 非球面光学元件测试方法

GB/T 13384-2008 光学零件表面质量检验方法

ISO 14997:2011 光学元件表面缺陷检测

GB/T 1185-2006 光学零件参数测量方法

ASTM E430-11 表面粗糙度测量标准

ISO 12123:2010 光学材料均匀性测试

GB/T 16491-2008 光学仪器环境试验方法

ISO 9022-1:2012 环境试验 第1部分:定义和试验条件

ASTM E1967-19 干涉仪测量光学表面标准

检测仪器

激光干涉仪：用于高精度面形和波前误差测量，功能包括相位测量和数据分析。

光学轮廓仪：测量表面轮廓和粗糙度，功能包括三维非接触扫描。

焦距测量仪：确定镜面焦距，功能包括自动焦点检测和距离测量。

表面缺陷检测系统：检查表面瑕疵，功能包括高分辨率成像和算法识别。

曲率测量仪：测量曲率半径，功能包括激光测距或接触式探头。

波前传感器：分析光学波前，功能基于 Shack-Hartmann 原理或干涉。

斜率测量仪：检测表面斜率，功能包括角度传感器和扫描机制。