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电子密度:反映等离子体中自由电子的数量密度,是判断等离子体约束状态的核心参数,测量范围1×10¹⁰~1×10¹⁴ m⁻³,精度±5%。
等离子体温度:包括电子温度与离子温度,表征粒子热运动剧烈程度,电子温度测量范围1~100 eV,离子温度测量范围0.1~10 keV,误差≤8%。
磁场扰动:监测等离子体周围磁场的时空变化,用于识别撕裂模、边界局域模等不稳定性,采样频率≥1 MHz,空间分辨率≤5 mm。
离子流密度:单位时间内通过单位面积的离子数量,反映等离子体与壁材料相互作用强度,测量范围1×10¹²~1×10¹⁶ ions/(m²·s),精度±3%。
等离子体频率:电子集体振荡的特征频率,用于评估等离子体响应外界扰动的快慢,测量范围10⁶~10¹² Hz,分辨率0.1%。
鞘层厚度:等离子体与固体表面间低能带电粒子堆积区域的厚度,影响壁材料溅射速率,测量范围10~1000 μm,误差≤10%。
能量沉积率:等离子体向装置部件传递的功率密度,决定材料热负荷水平,测量范围1~100 MW/m²,精度±7%。
不稳定性增长率:等离子体扰动幅度的增长速率,直接关联破裂风险等级,测量范围0.1~10 ms⁻¹,分辨率0.01 ms⁻¹。
真空度:等离子体腔室的气体压强,影响等离子体形成与维持,测量范围1×10⁻⁶~1 Pa,精度±0.1个量级。
辐射光谱强度:等离子体发射的电磁波谱分布,反映内部粒子激发态与能量损失,光谱范围200~2000 nm,分辨率0.5 nm。
磁约束聚变装置:用于托卡马克、仿星器等装置中等离子体边缘行为监测,预防破裂事件。
惯性约束聚变实验平台:针对激光驱动等离子体对称性及内爆过程稳定性检测。
航天器等离子体推进系统:监测霍尔推进器、离子推进器的羽流特性与异常扰动。
工业等离子体处理设备:用于半导体刻蚀、材料表面改性的等离子体反应腔稳定性评估。
等离子体诊断仪器:校准与验证朗缪尔探针、磁探针等设备的测量准确性。
核聚变实验堆部件:检测第一壁、偏滤器等关键部件附近的等离子体-材料相互作用。
等离子体医学治疗设备:监测低温等离子体射流的温度、密度分布及放电稳定性。
等离子体材料表面改性装置:评估辉光放电等离子体处理时的击穿电压与均匀性。
等离子体环境模拟舱:模拟太空等离子体环境,测试航天器材料的抗扰动能力。
高功率激光等离子体实验系统:监测激光与靶材作用产生的等离子体膨胀与不稳定性。
ISO 14632:2012 等离子体诊断通用方法:规定等离子体诊断系统的基本要求和测试方法。
GB/T 31897-2015 等离子体发射光谱法术语:定义等离子体光谱检测相关术语及测量规范。
ASTM E1078-14 真空等离子体诊断用朗缪尔探针测量方法:规范朗缪尔探针的结构、校准及数据采集流程。
GB/T 13360-2011 等离子体放电术语:统一等离子体放电类型、参数的定义与表述。
ISO 21431:2018 等离子体处理系统安全要求:明确等离子体系统中电气、机械及辐射安全检测的技术指标。
朗缪尔双探针系统:由两根平行探针组成,通过施加偏压测量等离子体空间电势,功能为同步获取电子密度、温度及等离子体电位。
磁探针阵列:由多通道磁通门传感器构成,用于采集磁场扰动的时空分布,功能为检测撕裂模、边界局域模等不稳定性信号。
等离子体光谱仪:基于光栅或干涉仪的光学系统,分析等离子体发射的特征光谱,功能为测量元素组成、温度及电子密度。
阻抗匹配网络分析仪:监测射频电源与等离子体的阻抗匹配状态,功能为优化能量耦合效率并预警匹配失效。
真空度测量系统:采用电离规与潘宁规组合,覆盖宽压强范围的气体压强检测,功能为保障等离子体腔室的真空环境稳定性。
离子能量分析仪:通过静电分析器测量离子的速度与能量分布,功能为评估等离子体离子轰击壁材料的损伤风险。
微波反射计:发射高频微波并接收反射信号,通过相位与幅度变化反演等离子体密度分布,功能为监测等离子体边界位置及扰动传播。
电子回旋共振诊断仪:利用微波与电子回旋运动的共振吸收,测量电子温度与密度,功能为高精度获取等离子体核心区域参数。
等离子体密度干涉仪:基于微波或激光的干涉效应,测量等离子体密度的空间分布,功能为可视化等离子体密度涨落。
霍尔效应探针:通过霍尔电压检测磁场分量,功能为精确测量等离子体周围的磁场矢量分布。