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中化所检测中心提供的掩膜版检测的适用样品包括:透明基板光学掩模版、遮光膜光学掩模版、溅镀掩模版、TFT-Array用掩模版、TFT-CF用掩模版等。

测试项目:

外观质量、表面平整度、铬膜厚度、反射率、光学密度、直角度、CD精度、位置精度、最小线宽、最小缺陷等。

SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

GB 50073-2001 净化厂房设计规范

GB 191 包装储运图示标志

GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

GB/T 2828.1 2003计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

SJT 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语

SJ/T 10857-1996铬版及其测试方法

S/T 10858-1996玻璃及铬版表面平整度的测试方法

SJ/T 10859-1996铬版铬膜和胶膜厚度的测试方法

SJ/T 10860-1996铬版铬膜表面反射率的测试方法

SJ/T 10861-1996 铬版光密度的测试方法

检测流程

1.在线或电话咨询,沟通测试项目;

2.寄送样品或上门取样,确认实验方案;

3.签署保密协议,支付测试费用;

4.整理实验数据,出具测试报告;