检测服务
我们的服务
三氯氢硅检测
三氯氢硅检测项目
成分分析、性能检测、水解性、纯度、机械性能、含量检测、杂质含量测定、总碳的测定、氯硅烷含量测定等。
检测方法
三氯氢硅检测方法包括：
成分分析：对三氯氢硅中各组分进行定性和定量分析。
性能检测：评估三氯氢硅的物理和化学性能，如挥发性、稳定性等。
水解性：检测三氯氢硅水解生成硅酸和氯化氢的能力。
纯度：测定三氯氢硅的纯度，即不含杂质的三氯氢硅的质量分数。
机械性能：对于用作半导体材料的三氯氢硅，可能需要检测其对硅片的蚀刻性能等。
含量检测：测定三氯氢硅中特定元素或化合物的含量。
杂质含量测定：包括对三氯氢硅中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑等杂质元素的量进行测定。
总碳的测定：使用气相色谱法测定硅外延用三氯氢硅中总碳的含量。
其他氯硅烷含量的测定：使用气相色谱法测定硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷的含量。
泄漏的处理处置方法：三氯氢硅泄漏的应急处理和处置方法。
试验周期
三氯氢硅检测周期一般为7-10个工作日，根据具体需求，可以提供加急服务。
注意：因业务调整，暂不接受个人委托。
检测标准
GB/T 28654-2018 工业三氯氢硅
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法
GB 51034-2014 多晶硅工厂设计规范
HG/T 4683-2014 三氯氢硅泄漏的处理处置方法
T/CEMIA 015-2018 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范
T/FSI 003-2016 气相二氧化硅生产用四氯化硅
YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
YS/T 1195-2017 多晶硅副产品 四氯化硅
YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
检测试验仪器
三氯氢硅检测所需的试验仪器包括：
手持式三氯氢硅检测仪、便携泵吸探杆式三氯氢硅气体检测仪、三氯氢硅HSiCl3检测仪等。
检测流程
确定测试对象与安排：确认测试对象并进行初步检查，确定样品寄送或上门采样安排；
制定验证实验方案：与委托方确认与协商实验方案，验证实验方案的可行性和有效性；
签署委托书：签署委托书，明确测试详情，确定费用，并按约定支付；
进行实验测试：按实验方案进行试验测试，记录数据，并进行必要的控制和调整；
数据分析与报告：分析试验数据，并进行归纳，撰写并审核测试报告，出具符合要求的测试报告，并及时反馈测试结果给委托方。
检测中心优势
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