原子力显微检测

检测项目

表面拓扑分析：测量样品表面高度变化和粗糙度。具体检测参数包括扫描范围、分辨率、高度范围。

摩擦系数测量：评估材料表面的摩擦行为和摩擦力分布。具体检测参数包括横向力灵敏度、摩擦系数计算范围。

弹性模量映射：分析局部区域的力学刚度和变形特性。具体检测参数包括杨氏模量范围、压入深度、力常数。

粘附力测试：量化表面黏附作用和粘附能。具体检测参数包括粘附力强度、力曲线斜率、分离距离。

电导率成像：表面电学特性的分布测量。具体检测参数包括电流范围、电阻率分辨率、电压控制。

磁性力成像：磁性材料表面的磁畴结构分析。具体检测参数包括磁场灵敏度、探针磁化强度、磁力梯度。

纳米压痕测试：局部硬度值和塑性变形评估。具体检测参数包括压入力范围、硬度值分辨率、压痕深度极限。

电容检测：表面电容变化的定量表征。具体检测参数包括电容精度、频率响应、极化电压。

热导率测量：热学性能的空间分布分析。具体检测参数包括温度控制范围、热流分辨率、导热系数计算。

化学力显微镜：特定化学相互作用的识别和量化。具体检测参数包括功能化探针类型、化学键强度、结合常数。

检测范围

半导体材料：集成电路元件表面拓扑和电学特性分析。

生物样品：细胞膜力学性能或蛋白质结构研究。

聚合物薄膜：表面粗糙度和摩擦行为表征。

纳米材料：纳米颗粒尺寸分布和形态评估。

金属表面：腐蚀层或磨损区域的微观分析。

陶瓷材料：硬度和断裂韧性的局部测量。

复合材料：界面粘附力和分层行为检测。

光学元件：表面平整度和反射特性验证。

微机电系统：微结构功能性和运动特性测试。

润滑涂层：摩擦减少效果和耐久性评估。

检测标准

ISO 11039:2012 纳米尺度表面形貌测量规范。

ASTM E2530 原子力显微镜校准标准方法。

GB/T 18777-2008 原子力显微镜分析方法通则。

ISO 14577 仪器化压痕测试国际标准。

GB/T 33579-2017 纳米压痕测试方法技术要求。

ISO 25178 表面纹理分析通用标准。

ASTM D7027 聚合物纳米力学测试规范。

GB/T 31227-2014 原子力显微镜操作指南。

ISO 14978 纳米尺度坐标测量方法。

GB/T 33582-2017 表面电学特性检测标准。

检测仪器

原子力显微镜：核心设备用于扫描样品表面并生成图像。具体功能包括控制探针运动、采集高分辨率拓扑和数据。

探针系统：多种类型探针应用于不同测量模式。具体功能包括选择特定探针进行力学或电学测试。

压电扫描器：精确控制样品或探针的位移。具体功能包括实现纳米级位置调整和扫描精度。

激光检测系统：监测探针偏转和信号变化。具体功能包括实时输出力或电流数据。

数据采集单元：处理和存储扫描所得信号。具体功能包括执行图像重建和分析算法。

环境控制单元：调节温度湿度等实验条件。具体功能包括维持稳定测试环境。

力传感器模块：测量探针与表面的相互作用力。具体功能包括量化粘附或弹性参数。