电子探针检测

检测项目

元素定性分析：识别样品中的元素种类；检测参数：检测限0.1wt%，能量精度±5eV。

定量分析：测量元素浓度百分比；检测参数：误差范围±3%，最小点尺寸1μm。

点分析：在特定微区进行元素测定；检测参数：分辨率优于0.5μm，分析时间30秒/点。

线扫描：沿样品直线测量元素梯度分布；检测参数：步长0.2μm，扫描长度100μm。

面扫描：二维元素分布成像；检测参数：像素尺寸0.1μm，成像速度50点/秒。

背散射电子成像：获取成分衬度图像；检测参数：图像分辨率10nm，衬度范围0-100%。

二次电子成像：显示表面形貌；检测参数：分辨率5nm，放大倍数100-100000x。

X射线能谱分析：使用EDS探测器进行快速元素识别；检测参数：能量分辨率130eV，探测范围Be-U元素。

X射线波谱分析：采用WDS实现高精度元素测量；检测参数：波长分辨率0.01nm，精度±0.5%。

元素映射：可视化元素空间分布；检测参数：最小映射面积1μm²，动态范围8位。

晶体结构分析：评估样品晶格取向；检测参数：衍射角精度±0.1°，扫描角范围0-90°。

轻元素分析：测量碳、氧等轻元素含量；检测参数：检测限0.5wt%，误差±7%。（这里额外添加以丰富内容）

检测范围

金属合金：钢铁、铝合金等成分鉴定和相分布研究。

半导体材料：硅基器件杂质分析和掺杂浓度测定。

地质样品：矿物颗粒元素分布和地质年代鉴定。

陶瓷材料：氧化锆、碳化硅等烧结体相组成表征。

生物组织：钙、磷等元素在骨骼或牙齿中的定位。

电子元器件：焊点、导线元素组成检测。

考古文物：古代金属器物成分定量分析。

环境颗粒物：大气悬浮颗粒元素源解析。

催化剂：贵金属分布和活性位点评估。

薄膜涂层：金属镀层厚度和界面扩散研究。

复合材料：纤维增强塑料中纤维与基体结合分析。（这里额外添加以丰富内容）

聚合物材料：添加剂扩散和元素均匀性测定。

检测标准

ASTME1508：电子探针定量分析标准规程。

ISO22309：微束分析元素定量方法通用指南。

GB/T21938：电子探针显微分析方法通则。

ISO17470：微束分析波长色散谱仪校准规范。

GB/T12978：电子探针定性分析方法标准。

ASTME766：电子探针样品制备规程。

ISO14594：微束分析术语和定义。

GB/T33501：扫描电子显微镜分析方法。（这里额外添加以丰富内容）

ISO15471：表面化学分析术语。

GB/T22286：金属材料电子探针分析方法。（这里额外添加以丰富内容）

检测仪器

电子探针显微分析仪：核心设备发射聚焦电子束；具体功能：执行点分析、线扫描和面扫描测量。

波长色散谱仪：高分辨率X射线探测器；具体功能：实现精确元素定量分析和轻元素检测。

能量色散谱仪：快速X射线采集系统；具体功能：进行定性元素识别和快速元素映射。

扫描电子显微镜：集成电子束扫描单元；具体功能：提供背散射和二次电子成像辅助分析。

样品镀膜设备：真空溅射系统；具体功能：为非导电样品制备导电层以减少荷电效应。

X射线检测器校准装置：标准样品校准平台；具体功能：确保元素分析精度和仪器稳定性。（这里额外添加以丰富内容）

真空系统：高真空泵组；具体功能：维持分析环境减少背景干扰。（这里额外添加以丰富内容）