覆膜金相检测

检测项目

膜层厚度测定：精度±50nm，采用阶梯轮廓法测量范围0.1-10μm

覆膜附着力测试：依据划痕试验法，临界载荷测量范围1-100N

界面结合状态分析：通过背散射电子成像检测扩散层深度，分辨率0.5μm

孔隙率与缺陷检测：识别直径＞0.2μm的膜层孔隙，统计面积占比

表面粗糙度表征：三维形貌重建，Ra测量精度±0.01μm

显微硬度测试：载荷范围10-1000g，膜基系统压痕形变分析

晶体取向分析：EBSD衍射花样采集，角度分辨率＞0.5°

元素扩散行为：线扫描分析界面元素分布，探测深度1μm

残余应力测定：X射线衍射法ψ角扫描，精度±20MPa

热稳定性验证：变温环境（-196~500℃）下的膜层完整性监测

导电性能测试：四探针法测量方阻，范围10-10⁶Ω/□

耐腐蚀性评估：盐雾试验周期24-1000h，腐蚀速率计算

检测范围

金属基复合材料：碳化硅颗粒增强铝基复合材料界面表征

热障涂层系统：航空发动机涡轮叶片YSZ热障涂层失效分析

硬质合金刀具：TiAlN/TiN多层镀膜刀具刃口涂层评估

半导体封装材料：铜柱凸块UBM层界面扩散检测

生物医用植入体：钛合金表面羟基磷灰石涂层骨结合界面研究

核燃料包壳材料：锆合金事故容错涂层（Cr涂层）完整性验证

汽车发动机部件：活塞环类金刚石碳膜（DLC）摩擦学性能表征

光学功能薄膜：磁控溅射制备的增透膜厚度均匀性检测

防腐管道涂层：深海管线FBE三层PE防腐系统界面分析

锂电池集流体：铜箔表面碳涂层导电网络结构观测

磁性记录材料：硬盘基板NiP镀膜表面粗糙度控制

太阳能电池板：透明导电氧化物（TCO）薄膜透射率优化

检测标准

ASTM E1077-14 覆层金相试样制备标准规程

ASTM B748-90 溅射镀膜厚度测量标准方法

ISO 1463:2003 金属氧化物覆层厚度显微镜测定法

ISO 20502:2005 陶瓷覆层附着力划痕试验法

GB/T 9790-2021 金属覆盖层厚度测量金相法

GB/T 31309-2014 真空镀膜层结合强度试验方法

GB/T 16533-2020 精细陶瓷覆膜孔隙率检测

ISO 26423:2010 金刚石薄膜厚度纳米压痕测定

ASTM F1044-05 集成电路金属化层应力测试

GB/T 31563-2015 金属覆盖层截面显微硬度试验

DIN 50159-1 金属覆层残余应力X射线测量

JIS H8504 金属镀膜耐腐蚀性试验方法

检测仪器

场发射扫描电镜：配备背散射探测器，实现纳米级膜层界面成像，分辨率达1.0nm

离子研磨系统：采用Ar离子束精研技术，制备无变形覆膜截面样品

纳米压痕仪：配备Berkovich压头，测量涂层弹性模量范围0.1-1000GPa

X射线衍射仪：薄膜专用模块，可进行掠入射衍射(GIXRD)分析晶格应变

共聚焦激光显微镜：三维表面重建功能，膜厚台阶测量精度±2nm

划痕测试仪：金刚石锥头（200μm半径），实时声发射监测膜层剥离

聚焦离子束系统：定位制备特定区域截面样品，加工精度±10nm

原子力显微镜：轻敲模式扫描，三维粗糙度测量范围0.1nm-10μm

电子背散射衍射仪：晶体取向测绘速度＞1000点/秒，空间分辨率20nm

辉光放电光谱仪：深度分辨率＜10nm，元素检测限0.01at%

显微硬度计：维氏/努氏双压头，载荷分辨率0.1g

台阶轮廓仪：12英寸样品台，垂直分辨率0.1Å