检测项目
表面粗糙度、氧化层厚度、污染物残留量、热影响区深度、显微硬度变化、元素成分分析、表面润湿角、反射率变化率、残余应力分布、微观裂纹密度、晶相结构稳定性、涂层结合强度、电化学腐蚀速率、清洁度等级判定、颗粒物粒径分布、有机物碳化程度、金属基体烧蚀阈值、色差变化值、三维形貌偏差率、等离子体光谱特征、激光吸收率系数、表面能计算值、孔隙率变化量、摩擦系数波动值、导热性能衰减度、电磁屏蔽效能损失率、荧光渗透检测通过率、超声波探伤合格率、X射线衍射峰偏移量检测范围
航空发动机叶片涂层预处理基材、核电站蒸汽发生器传热管束组件、船舶螺旋桨铜合金基体修复区段、半导体晶圆切割后残留物清除面层、汽车变速箱齿轮啮合面预处理区域、石化管道焊接接头氧化皮清除界面、文物青铜器腐蚀产物清理表面层段、光伏电池板银栅线清洁处理面域、模具钢脱模剂残留清除工作面层段量测区段检测方法
1.扫描电子显微镜(SEM)：通过二次电子成像分析微观形貌特征与污染物清除完整性
2.X射线光电子能谱(XPS)：测定表层5nm内元素化学态变化及污染层去除深度
3.白光干涉仪：量化三维表面粗糙度Sa值及波纹度参数Wz
4.显微硬度计：采用维氏压痕法评估热影响区力学性能变化梯度
5.电化学工作站：通过极化曲线测定清洗后表面的耐腐蚀性能
6.激光共聚焦拉曼光谱：识别有机污染物分子结构残留特征峰
7.热重分析仪(TGA)：测定有机物碳化残留物的质量百分比
8.残余应力测试仪：采用X射线衍射法计算表层应力分布状态
9.能谱仪(EDS)：进行微区元素面分布扫描确定污染物清除均匀性
10.接触角测量仪：通过液滴形态分析表面能变化趋势检测标准
ISO25178-2:2022《产品几何技术规范(GPS)表面结构:区域法》
ASTME3-11(2017)《金相试样制备标准指南》
GB/T4340.1-2009《金属材料维氏硬度试验第1部分:试验方法》
ISO4287:1997《几何产品规范(GPS)表面结构:轮廓法术语定义及表面结构参数》
ASTMG5-14《动电位极化电阻测量标准参考试验方法》
DINENISO9227:2017《人造大气腐蚀试验盐雾试验》
GB/T1771-2007《色漆和清漆耐中性盐雾性能的测定》
ISO1463:2021《金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法》
ASTME112-13《平均晶粒度测定试验方法》
IEC60749-25:2021《半导体器件机械和环境试验方法第25部分:温度循环》检测仪器
1.三维形貌测量系统：采用共聚焦原理实现亚微米级表面拓扑重构
2.飞秒激光诱导击穿光谱仪(LIBS)：实现原位元素深度剖面分析
3.红外热像仪：实时监测激光清洗过程中的温度场分布
4.原子力显微镜(AFM)：纳米级分辨率表征表面原子级平整度
5.辉光放电质谱仪(GD-MS)：测定表层微量元素迁移规律
6.X射线衍射应力分析仪：非破坏性测定残余应力梯度分布
7.动态机械分析仪(DMA)：评估材料动态模量变化与热稳定性
8.电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)：定量分析金属离子溶出量
9.紫外可见分光光度计：测定光学元件反射/透射特性变化
10.摩擦磨损试验机：模拟工况条件评价表面耐磨性能
