检测项目
周期精度、刻线均匀性、衍射效率、基片平整度、膜层附着力、杂散光系数、波前畸变、线密度偏差、偏振特性、角度分辨率、光谱响应度、环境稳定性、热膨胀系数、抗激光损伤阈值、表面粗糙度、边缘陡度、相位一致性、透射/反射率偏差、色散特性、像散校正量、非线性响应误差、调制传递函数、纳米级形变容差、抗老化性能、化学腐蚀耐受度、电磁兼容性、振动敏感性、湿度影响系数、应力双折射量、微区缺陷密度检测范围
计量光栅尺、光纤布拉格光栅、全息衍射光栅、透射式计量光栅、反射式脉冲压缩光栅、X射线聚焦光栅、紫外光刻光栅、红外光谱仪光栅、拉曼光谱仪光栅、天文望远镜分光光栅、激光谐振腔光栅、原子钟频率基准光栅、同步辐射单色器光栅、半导体纳米压印光栅、MEMS微结构光栅、光学编码器计量光栅、航天器姿态传感光栅、医疗内窥镜成像光栅、高功率激光系统光栅、太赫兹波导光栅、光子晶体结构光栅、真空紫外单色器光栅、电子束曝光制备光栅离子束刻蚀中阶梯光栅等离子体共振传感器光栅柔性显示基板微纳光栅量子点阵列光学器件超表面超构光栅检测方法
1.激光干涉法：采用λ/100精度相移干涉仪测量表面面形误差，通过条纹分析软件计算PV值和RMS值
2.原子力显微镜(AFM)：纳米级分辨率扫描刻线轮廓，获取线宽一致性及边缘粗糙度数据
3.分光光度计法：使用双光束系统在200-2500nm波段测量衍射效率光谱曲线
4.白光干涉术：基于垂直扫描原理检测亚纳米级表面粗糙度
5.电子束探针：通过二次电子信号成像分析微区缺陷分布
6.激光共聚焦显微镜：三维形貌重建测量刻槽深度及侧壁角度
7.偏振分析法：利用斯托克斯参数测量装置评估偏振相关损耗
8.热循环试验箱：-40℃至+150℃温度循环测试尺寸稳定性
9.激光损伤测试：依据ISO21254标准进行单脉冲/多脉冲损伤阈值测定
10.X射线衍射(XRD)：分析晶体结构对衍射性能的影响
11.傅里叶变换红外光谱(FTIR)：表征中远红外波段的透射特性
12.动态机械分析(DMA)：测定温度-频率依赖的粘弹性参数检测标准
GB/T13962-2009光学经纬仪计量器具检定系统表
JJG739-2005激光干涉仪检定规程
ISO10110-5:2015光学和光子学-图纸要求-第5部分:表面形状公差
DIN58750-3:2018光学加工-质量特性-第3部分:衍射光学元件
ASTME903-2012使用积分球法测定材料太阳吸收比的标准试验方法
MIL-PRF-13830B光学元件疵病规范（美军标）
ISO14999-4:2015光学元件-干涉法测量-第4部分:衍射光学元件解释与评估
GB/T13323-2009光学制图规范
IEC60825-1:2014激光产品安全-第1部分:设备分类和要求
SEMIPV22-0217光伏用衍射光学元件测试规范检测仪器
1.ZygoVerifireMST干涉仪：配备632.8nmHe-Ne激光源，最大测量口径300mm，面形重复精度λ/1000
2.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，支持50至150物镜切换3.Keysight5500原子力显微镜：非接触模式分辨率0.2nm，配备热漂移补偿系统4.PerkinElmerLambda1050分光光度计：双单色器设计，杂散光＜0.00007%5.RenishawXL-80激光校准系统：80m测量范围，线性精度0.5ppm6.ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪：DTGS检测器覆盖7800-350cm⁻波段7.CoherentMasterOscillator功率计：最大测量功率10kW，响应时间10ns8.InstronElectroPulsE3000动态测试机：轴向加载精度0.5%示值9.ZeissLSM900共聚焦显微镜：405-640nm多波长激发，Z轴分辨率1nm10.ESYS环境试验箱：温度变化速率15℃/min，湿度控制范围20-98%RH
