真空度检测

检测项目

真空度检测涵盖三大核心指标：极限真空度测定用于确认系统能达到的最低压力值；泄漏率测试评估单位时间内气体渗透量；压力稳定性监测记录系统在特定时间段的压力波动范围。辅助性检测包括残余气体成分分析（RGA）、抽气速率测量以及系统复压特性验证。特殊工况下需进行温度-真空度耦合测试与振动环境下的密封性能评估。

检测范围

工业领域覆盖半导体制造设备的真空腔体、航天器热真空试验舱、医疗灭菌设备密封室等场景。科研应用涉及粒子加速器真空管道、核聚变装置等离子体约束系统等高精度需求场景。民用领域包含制冷系统真空干燥度验证、食品包装气密性测试等常规检测需求。特殊行业如深潜装备耐压测试舱、卫星推进剂贮箱等均需执行ASTMF2338标准规定的真空维持能力验证。

检测方法

静态升压法通过封闭被测系统监测压力回升速率计算泄漏量；动态流量法采用标准漏孔进行定量校准；质谱分析法利用四极杆质谱仪识别特定气体成分的逸出特征；热传导法基于不同压力区间气体导热系数差异实现宽量程测量；电离规校准法通过电子轰击气体分子产生的离子流强度换算绝对压力值。

检测仪器

电容薄膜规（CDG）适用于10^-4至10³Pa范围的精确测量；冷阴极电离规（CCIG）专用于超高真空（10^-8至10^-1Pa）环境监测；残余气体分析仪（RGA）配备法拉第杯检测器实现ppb级气体成分识别；氦质谱检漏仪（MSLD）具备10^-12Pam³/s的灵敏度阈值；复合真空计集成多个传感器实现全量程覆盖测量。

检测流程

确定测试对象与安排：确认测试对象并进行初步检查，确定样品寄送或上门采样安排；

制定验证实验方案：与委托方确认与协商实验方案，验证实验方案的可行性和有效性；

签署委托书：签署委托书，明确测试详情，确定费用，并按约定支付；

进行实验测试：按实验方案进行试验测试，记录数据，并进行必要的控制和调整；

数据分析与报告：分析试验数据，并进行归纳，撰写并审核测试报告，出具符合要求的测试报告，并及时反馈测试结果给委托方。