真空漏气检测

检测项目

真空漏气检测包含以下关键指标：

1. 泄漏率定量分析：依据ASTM E493标准测定单位时间内气体逸出量

2. 密封系统完整性验证：通过ISO 20485规范评估系统整体密封等级

3. 微泄漏定位诊断：采用示踪气体法识别≤1×10⁻⁹ mbar·L/s的泄漏点

4. 材料渗透性测试：测量特定材料在真空环境下的气体渗透系数

5. 动态泄漏监测：记录系统在温度/压力循环条件下的泄漏变化曲线

检测范围

本检测技术适用于以下典型场景：

1. 工业设备：真空镀膜机、冷冻干燥机、粒子加速器的密封组件

2. 电子器件：半导体晶圆加工腔体、高真空继电器封装结构

3. 能源装置：锂离子电池外壳、燃料电池质子交换膜组件

4. 医疗器械：人工心脏瓣膜封装体、血液透析器空心纤维束

5. 航天设备：卫星推进剂贮箱、空间站生命维持系统管路

6. 科研装置：同步辐射光束线真空管道、超导磁体低温恒温器

检测方法

主流检测技术体系包含以下方法：

1. 氦质谱检漏法（HSLD）：

- 采用He作为示踪气体，通过四级杆质谱仪检测浓度变化

- 可实施喷吹法（正压模式）或吸枪法（负压模式）定位泄漏点

- 灵敏度达1×10⁻¹² mbar·L/s，符合MIL-STD-750E军标要求

2. 压力变化率法：

- 基于理想气体状态方程计算单位时间压力变化值ΔP/Δt

- 配备0.05级精度压力传感器，测试周期不少于24小时

- 适用于容积≤10m³系统的整体密封性评估

3. 气泡观测法：

- 将被检件浸入示踪液体（常用氟油），目视观测气泡形成速率

- 配备0.1μm分辨率高速摄像系统进行定量分析

- 主要检测≥1×10⁻⁵ mbar·L/s的宏观泄漏

4. 累积检漏法：

- 使用高吸附性分子筛捕集泄漏气体，通过热导检测器分析累积量

- 特别适用于周期性微泄漏的长期监测项目

- 最低检出限可达5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

检测仪器

标准检测设备配置包含以下核心装置：

1. 氦质谱检漏仪：

- 分辨率：0.1amu@10%峰高

- 量程范围：1×10⁻⁴~1×10⁻¹² mbar·L/s

- 响应时间：＜3s（90%信号值）

2. 数字式压力校验仪：

- 测量范围：1×10⁻³~2000mbar（绝对压力）

- 精度等级：0.025%FS

- 温度补偿系数：±0.002%/℃

3. 真空系统组件：

- 涡轮分子泵组：极限真空≤5×10⁻⁷ mbar

- 冷阴极电离规：测量范围1×10⁻²~1×10⁻⁹ mbar

- 金属密封法兰：CF系列接口满足ISO 3669标准

4. 辅助测试装置：

- 恒温液槽：控温精度±0.1℃（-40~150℃）

- 振动模拟台：频率范围5-2000Hz，最大加速度30g

- 激光干涉仪：用于密封面形变测量（分辨率0.01μm）

所有仪器均需通过NIST可溯源的计量校准，定期执行QMS-012设备维护规程。数据采集系统应满足21 CFR Part11电子记录规范要求。

检测流程

确定测试对象与安排：确认测试对象并进行初步检查，确定样品寄送或上门采样安排；

制定验证实验方案：与委托方确认与协商实验方案，验证实验方案的可行性和有效性；

签署委托书：签署委托书，明确测试详情，确定费用，并按约定支付；

进行实验测试：按实验方案进行试验测试，记录数据，并进行必要的控制和调整；

数据分析与报告：分析试验数据，并进行归纳，撰写并审核测试报告，出具符合要求的测试报告，并及时反馈测试结果给委托方。