真空度试验质量检测

检测项目

真空度测量：量化系统内部绝对压力值（Pa），判定是否达到设计真空等级

泄漏率测试：测定单位时间内气体渗透量（Pa·m³/s），评估密封系统完整性

抽气特性分析：记录系统压力随时间变化曲线（P-t曲线），验证真空泵组性能

残余气体分析：通过四极质谱仪识别系统内残留气体成分及分压比

极限真空验证：在最佳工况下测定系统可达到的最低稳定压力值

检测范围

高真空设备：分子泵机组、低温泵系统、真空镀膜装置等工业设备

密封容器：航天器推进舱、医用灭菌罐体、半导体工艺腔室等特种容器

管路系统：超高真空传输管道、低温流体输送管线等复杂管网

电子器件：X射线管、光电倍增管等真空封装电子元件

科研装置：粒子加速器真空束流管、核聚变实验装置等大型科研设施

检测方法

静态升压法：

将待测系统抽至基准真空度（通常≤1×10⁻³Pa）后关闭隔离阀

记录24小时内压力变化数据（采样间隔≤5分钟）

按公式Q=V×(ΔP/Δt)计算泄漏率（V为系统容积）

氦质谱检漏法：

在待检部位外表面施加氦气示踪剂（喷吹压力0.1-0.2MPa）

通过质谱仪检测系统内氦分压变化（灵敏度可达1×10⁻¹²Pa·m³/s）

采用差分模式消除本底干扰（氦本底浓度应＜5×10⁻⁶）

动态流量法：

在系统入口接入标准漏孔（标定值1×10⁻⁷Pa·m³/s）

调节节流阀使系统压力稳定在测试点（通常1×10⁻²~1×10⁻⁴Pa）

通过流量计测量实际气体通量（误差应＜±3%）

残余气体分析法：

使用四极质谱仪进行全谱扫描（质量数范围1-200amu）

识别特征峰对应气体成分（H₂O峰m/z=18，N₂峰m/z=28）

计算各组分分压比（相对误差≤±15%）

检测仪器

电容薄膜规： 量程1×10⁻⁴~1000Pa，精度±0.15%读数， 适用于中高真空段压力测量， 温度补偿范围-20℃~50℃

冷阴极电离规： 量程1×10⁻⁸~1×10⁻¹Pa， 线性度优于±20%， 需配合磁屏蔽装置使用

氦质谱检漏仪： 最小可检漏率5×10⁻¹³Pa·m³/s， 响应时间＜3秒， 配备自动校准模块

四极质谱分析系统： 质量分辨率0.5amu， 检出限1×10⁻⁷Pa， 配置二次电子倍增器

涡轮分子泵机组： 极限压力≤5×10⁻⁷Pa， 抽速400L/s（N₂）， 配备变频驱动控制器

数字微压计： 量程±5000Pa， 分辨率0.01Pa， 具备RS485通讯接口

检测流程

确定测试对象与安排：确认测试对象并进行初步检查，确定样品寄送或上门采样安排；

制定验证实验方案：与委托方确认与协商实验方案，验证实验方案的可行性和有效性；

签署委托书：签署委托书，明确测试详情，确定费用，并按约定支付；

进行实验测试：按实验方案进行试验测试，记录数据，并进行必要的控制和调整；

数据分析与报告：分析试验数据，并进行归纳，撰写并审核测试报告，出具符合要求的测试报告，并及时反馈测试结果给委托方。