表面化学性质分析

检测项目

X射线光电子能谱分析：利用单色X射线激发样品表面原子内层电子，通过测量光电子的动能确定元素种类、化学态和相对含量，深度分析范围通常在10纳米以内。

俄歇电子能谱分析：通过检测原子受激后发生俄歇跃迁所释放的特征电子能量，实现对除氢氦外轻元素和超轻元素的高灵敏度定性与半定量分析。

二次离子质谱分析：采用一次离子束溅射样品表面，收集产生的二次离子并进行质荷比分析，具备极高的元素检测灵敏度和三维空间分辨能力。

傅里叶变换红外光谱分析：基于分子官能团对红外光的特征吸收，鉴定材料表面的有机化合物、聚合物涂层及吸附物种的化学结构信息。

拉曼光谱分析：通过测量入射光与样品分子振动模式相互作用产生的非弹性散射光，提供分子结构、晶相组成及应力状态等特异性信息。

接触角测量：通过精确测量液体在固体表面形成的接触角大小，定量评估材料表面的自由能、润湿性以及疏水亲水特性。

原子力显微镜力学性能mapping：在纳米尺度上通过探针与样品相互作用力测量，同步获取表面形貌与局部区域的杨氏模量、粘附力等力学参数分布。

辉光放电光谱深度剖析：利用低压等离子体持续溅射样品表面，同时对溅射区进行光学发射光谱分析，实现元素浓度随深度的变化曲线绘制。

低能离子散射谱分析：通过测量低能量惰性气体离子与表面原子碰撞后的能量损失，实现对最外表层（1-3个原子层）元素的定性与结构分析。

静态二次离子质谱分析:在极低初级离子剂量下进行检测，确保表面损伤可忽略不计，主要用于单分子层或亚单分子层有机材料的表征。

检测范围

金属及其合金材料:分析金属表面的氧化膜成分、腐蚀产物分布、镀层元素互扩散现象以及热处理引起的表层偏析行为。

半导体晶圆与器件:表征外延层厚度与掺杂浓度、界面污染物的种类与含量、光刻胶残留以及栅氧层的化学计量比。

高分子聚合物与塑料:鉴定表面改性处理后的官能团引入效果、添加剂迁移至表面的情况以及老化过程中的化学结构变化。