化学配比能谱检测

检测项目

元素含量分析：测定样品中特定元素的重量百分比，检测范围从0.01%至100%，使用标准曲线或无标样方法进行定量。

检测限：确定仪器能检测到的最低元素浓度，通常为0.1wt%，基于信噪比和背景扣除计算。

精度：测量结果的重复性，以相对标准偏差表示，如±0.5%，通过多次测量同一样品评估。

能量分辨率：能谱仪的分辨能力，以eV为单位，如130eV，影响元素峰分离和识别准确性。

峰背比：特征峰与背景的比率，影响检测灵敏度，比值越高表示信噪比越好，通常要求大于10:1。

定量分析：使用标准样品进行校准，确保准确性，误差小于1%，涉及矩阵效应校正。

定性分析：识别样品中的元素种类，基于特征X射线能量，能量范围通常从0.1keV到20keV。

mapping分析：元素分布成像，空间分辨率可达1μm，用于可视化元素在样品表面的分布。

线扫描：沿特定路径的元素浓度变化，用于界面分析，步长可调至0.1μm。

厚度测量：用于薄膜样品的厚度分析，基于X射线强度衰减，测量范围1nm至10μm。

元素比率计算：测定样品中不同元素的比例，如氧铁比，用于化学计量分析。

背景扣除：处理能谱中的背景信号，提高峰面积计算准确性，使用数学模型如Shirley或线性扣除。

检测范围

金属合金：分析合金成分，如不锈钢中的铬、镍含量，用于质量控制和材料认证。

半导体材料：检测硅片中的掺杂元素，如硼、磷，确保电子器件性能。

陶瓷材料：测定氧化物、碳化物等成分，如Al2O3、SiC，用于高温应用评估。

聚合物：分析添加剂或填充物元素，如钛白粉中的钛，改善材料性能。

地质样品：矿物成分分析，如石英中的硅氧，用于地质勘探和研究。

生物样品：如组织中的元素分布，钙、磷等，用于医学和生物学研究。

环境样品：土壤、水中的重金属，如铅、汞，监测环境污染。

电子元件：PCB板上的焊料成分，锡铅合金，确保焊接可靠性。

航空航天材料：复合材料元素分析，如碳纤维增强塑料，用于轻量化设计。

医疗设备：植入物材料成分，如钛合金，保证生物相容性。

化学品：分析试剂纯度，如催化剂中的贵金属含量，用于化工过程。

食品包装材料：检测涂层或添加剂元素，如铝箔中的铝，确保食品安全。

检测标准

ASTM E1508: JianCe Practice for Quantitative Analysis by Energy-Dispersive Spectroscopy

ISO 22309: Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS)

GB/T 17359: 微束分析 能谱法定量分析

ASTM E1085: JianCe Test Method for Analysis of Low-Alloy Steels by Wavelength Dispersive X-Ray Fluorescence Spectrometry

ISO 15632: Microbeam analysis — Electron probe microanalysis — Guidelines for the specification of certified reference materials (CRMs)

GB/T 19500: X射线光电子能谱分析方法通则

ASTM E1621: JianCe Practice for Elemental Analysis by Wavelength Dispersive X-Ray Fluorescence Spectrometry

ISO 17470: Microbeam analysis — Electron probe microanalysis — Guidelines for qualitative point analysis by wavelength dispersive X-ray spectrometry

GB/T 20725: 电子探针微量分析标准方法

ASTM E1172: JianCe Practice for Describing and Specifying a Wavelength-Dispersive X-Ray Spectrometer

检测仪器

能量色散X射线能谱仪：用于元素分析，通过检测特征X射线能谱，功能包括定性定量分析和元素 mapping。

波长色散X射线能谱仪：提供更高分辨率，用于元素分析，分辨率可达10eV，适用于复杂样品。

扫描电子显微镜配备能谱仪：结合形貌和成分分析，空间分辨率高，用于微区元素测定。

X射线荧光光谱仪：用于无损元素分析，检测范围从钠到铀，适用于固体和液体样品。

电子探针微分析仪：用于微区元素定量分析，精度高，结合波长和能量色散技术。

能谱校准标准样品：用于仪器校准，确保测量准确性，包含已知元素浓度的参考材料。

样品制备设备：如研磨机和涂层仪，用于制备均匀样品表面，减少分析误差。