盘形分子泵盘片检测

检测项目

几何尺寸检测：测量盘片的直径、厚度和圆度，参数包括公差±0.02mm。

表面粗糙度检测：评估表面光洁度，Ra值范围0.1-1.6μm。

硬度测试：测定材料硬度，使用洛氏或维氏硬度标尺。

平衡性检测：检查盘片的动态平衡，不平衡量要求小于5g·mm。

材料成分分析：验证合金元素含量，符合特定标准。

涂层厚度测量：检测表面涂层均匀性，厚度公差±0.005mm。

裂纹检测：使用无损检测方法检查内部缺陷。

热变形测试：评估高温下的尺寸稳定性。

振动测试：模拟运行条件检查振动特性。

气密性检测：检查盘片密封性能，泄漏率小于1×10^-6 mbar·L/s。

腐蚀 resistance test：评估耐腐蚀性能。

寿命测试：进行加速寿命试验预测使用寿命。

检测范围

不锈钢盘片：适用于真空泵，耐高温和腐蚀。

铝合金盘片：轻质材料，用于特定应用。

钛合金盘片：高强度，耐腐蚀，用于高端设备。

陶瓷涂层盘片：增强表面硬度，减少磨损。

复合材料盘片：结合多种材料特性。

工业真空泵盘片：用于制造和科研领域。

半导体设备盘片：高纯度要求，避免污染。

航空航天应用盘片：极端环境下的可靠性。

医疗设备盘片：无菌和生物兼容性。

汽车工业盘片：用于涡轮增压器等。

科研仪器盘片：高精度要求，用于实验室设备。

检测标准

ISO 1940-1 机械振动平衡品质要求。

ASTM E18 金属材料洛氏硬度测试。

GB/T 1031 表面粗糙度参数及其数值。

ISO 4287 表面粗糙度术语、定义和参数。

ASTM E92 金属材料维氏硬度测试。

GB/T 228.1 金属材料拉伸试验。

ISO 3452 无损检测渗透检测。

ASTM E1417 液体渗透检测。

GB/T 3323 金属熔化焊焊接接头射线照相。

ISO 9001 质量管理体系要求。

检测仪器

三坐标测量机：用于高精度几何尺寸测量，分辨率0.001mm。

表面粗糙度仪：测量表面纹理，Ra值范围0.01-100μm。

硬度计：测定材料硬度，支持多种标尺。

动平衡机：检测旋转部件的平衡性，精度0.1g·mm。

光谱分析仪：分析材料化学成分，检出限ppm级。

超声波探伤仪：进行无损检测，发现内部缺陷。