超微结构损伤观察检测

检测项目

扫描电子显微镜成像：表面形貌特征观测，分辨率3nm，景深范围200μm

透射电子显微镜分析：晶体缺陷解析，点分辨率0.19nm，晶格条纹测量精度0.02nm

聚焦离子束层析：三维微结构重建，切片厚度5-100nm，定位精度10nm

电子背散射衍射：晶粒取向测绘，角分辨率0.5，相鉴定精度99%

X射线能谱元素分布：微区成分测绘，空间分辨率1μm，检出限0.1wt%

原位力学测试：动态损伤过程记录，载荷分辨率1μN，位移精度0.1nm

电子通道衬度成像：位错密度量化，检测阈值10^12m⁻，可视尺度0.1-100μm

原子力显微形貌分析：表面粗糙度表征，垂直分辨率0.1nm，扫描范围90μm

二次离子质谱深度剖析：界面扩散行为研究，深度分辨率5nm，质量分辨率M/ΔM>20000

同步辐射断层扫描：内部缺陷三维可视化，空间分辨率50nm，穿透深度10mm

电子能量损失谱：化学键态分析，能量分辨率0.3eV，元素面分布测绘

激光共焦显微术：亚表面损伤观测，纵向分辨率120nm，荧光成像通道5个

检测范围

高温合金涡轮叶片：热障涂层界面分层行为监测

半导体晶圆器件：纳米尺度位错网络演化过程追踪

核反应堆压力容器钢：辐照诱导缺陷簇定量分析

碳纤维复合材料：纤维/基体界面脱粘过程表征

生物医用钛合金：微动磨损亚表面裂纹扩展观测

锂离子电池电极：充放电循环相变损伤评估

航空铝合金结构件：疲劳裂纹萌生位置定位

地质矿物样本：极端压力下晶格畸变研究

纳米涂层刀具：切削刃微观崩刃机制解析

超导磁体材料：临界电流密度下降关联缺陷识别

形状记忆合金：相变过程微观应变场测绘

页岩储层岩芯：微裂缝网络连通性量化

检测标准

ISO16700:2016微束分析规范

ASTME2858-11电子背散射衍射标准

GB/T23414-2009微束分析术语

ISO21363:2020纳米颗粒粒径分布测定

ASTMF3294-18生物材料表面形貌表征

GB/T35098-2018微纳米尺度薄膜力学性能试验

ISO22262-2:2014材料界面特性分析

ASTME766-14电子显微镜校准规范

GB/T34003-2017纳米材料透射电镜检测

ISO19214:2017透射电镜位错分析导则

检测仪器

场发射扫描电子显微镜：表面形貌高分辨成像，配备背散射衍射系统实现取向分析，二次电子分辨率1.2nm

球差校正透射电子显微镜：原子尺度结构解析，配备能谱系统执行元素测绘，点分辨率50pm

双束聚焦离子束系统：微区三维重构加工，离子束切割精度5nm，电子束成像分辨率2nm

原位纳米力学测试台：微柱压缩实验装置，最大载荷50mN，位移分辨率0.1nm，同步电子显微镜观测

原子探针层析仪：原子级三维成分重建，质量分辨率M/ΔM>2000，空间定位精度0.3nm

同步辐射X射线显微镜：大尺度三维成像，空间分辨率30nm，穿透能力超常规光源10倍

激光扫描共聚焦显微镜：亚表面缺陷层析检测，轴向分辨率0.2μm，405-640nm多波长激发