气密性氦检漏检测

检测项目

最小可检测泄漏率：测量系统识别的最小泄漏值，参数包括1×10^{-12} mbar·l/s下限。

最大允许泄漏率：产品可接受的泄漏上限，参数如1×10^{-9} mbar·l/s阈值。

压力衰减测试：基于压力变化评估泄漏，参数涉及初始压力1000 mbar，衰减速率0.01 mbar/s。

氦示踪浓度监控：监测氦气浓度梯度，参数包括动态范围0至100%体积分数。

泄漏定位精度：确定泄漏点的空间准确性，参数为位置偏差±0.5 mm。

测试压力范围：操作压力区间，参数如10^{-4}至10^{3} mbar范围。

温度补偿系数：校正温度对泄漏影响，参数为系数0.03%/°C。

真空度要求：测试环境真空水平，参数最小真空度1×10^{-6} mbar。

测试持续时间：标准测试时长，参数为5至60分钟可调。

重复性误差：多次测量一致性指标，参数相对标准偏差≤3%。

检测范围

航空航天密封组件：发动机燃料系统密封验证。

汽车空调管路：车辆制冷剂回路泄漏评估。

电子半导体封装：芯片外壳密封完整性检测。

医疗器械植入物：心脏起搏器外壳密封测试。

核反应堆容器：放射性物质密封屏障验证。

制冷压缩机部件：冰箱压缩机阀门泄漏检查。

油气输送阀门：管道高压阀门密封性能测试。

卫星推进系统：航天器推进剂储罐密封评估。

食品无菌包装：无菌容器密封可靠性确认。

工业高压阀门：阀门密封接口泄漏诊断。

检测标准

ASTM E493标准：内部-外部测试模式泄漏检测方法。

ASTM E498标准：示踪探头模式泄漏检测规范。

ISO 20485标准：质谱检漏仪校准技术要求。

GB/T 12604.7标准：泄漏检测术语定义。

GB 12347标准：氦气检漏测试通用方法。

MIL-STD-883标准：微电路泄漏检测测试程序。

检测仪器

氦质谱检漏仪：分析氦气浓度变化识别泄漏，功能为微小泄漏率测量和质谱分析。

真空泵系统：建立并维持低压环境，功能为达到规定真空度支持测试。

氦气供应装置：提供可控氦气源，功能为示踪气体注入和浓度调节。

压力控制单元：调节腔体压力参数，功能为压力稳定和变化监测。

数据采集系统：记录处理泄漏数据，功能为实时监测和结果报告生成。

泄漏模拟校准器：模拟已知泄漏用于验证，功能为仪器精度校准和重复性测试。