磁控溅射镀膜检测

检测项目

膜厚测量：确定镀膜层厚度；测量精度±0.01μm，范围0.1-50μm。

附着力测试：评估涂层与基材结合强度；划痕测试临界载荷10-50N。

硬度测试：测量涂层表面硬度；维氏硬度范围200-3000HV。

表面粗糙度分析：分析涂层表面形貌；Ra值测量精度±0.01μm。

成分分析：确定涂层化学成分；元素含量检测限0.1%。

晶相结构研究：研究涂层晶体结构；X射线衍射角度20-80度。

光学性能评估：评估透射率和反射率；波长范围300-1000nm。

电学性能测量：测量电阻率和导电性；电阻范围1mΩ-1GΩ。

耐磨性测试：测试抗磨损能力；磨损率测量精度±5%.

耐腐蚀性评估：评估抗腐蚀性能；盐雾测试时间24-100小时。

检测范围

半导体器件：芯片保护层性能检测。

光学镜片：抗反射涂层透光率评估。

刀具涂层：硬质涂层耐磨性分析。

太阳能电池：透明导电膜电学特性测试。

汽车零件：装饰涂层耐候性检测。

医疗器械：生物相容性涂层安全性评估。

航空航天组件：高温耐蚀涂层可靠性测试。

装饰品：色彩涂层光泽度分析。

电子显示器：ITO导电膜电阻测量。

包装材料：阻隔性能涂层渗透性检测。

检测标准

ASTM B748标准膜厚测量方法。

ISO 1463表面涂层厚度测试规范。

GB/T 5237铝合金建筑型材涂层要求。

ISO 9227盐雾试验标准。

ASTM D3359附着力测试指南。

GB/T 6739漆膜硬度测定方法。

ISO 4518表面粗糙度测试规程。

GB/T 1771色漆耐中性盐雾性能标准。

ISO 14577硬度测试国际规范。

GB/T 10125人造气氛腐蚀试验通用标准。

检测仪器

表面轮廓仪：测量表面粗糙度和形貌；在检测中用于分析涂层Ra值。

X射线衍射仪：分析晶体结构；在检测中确定涂层晶相。

硬度计：测量表面硬度；在检测中执行维氏硬度测试。

光谱仪：进行成分分析；在检测中测定元素含量。

盐雾试验箱：模拟腐蚀环境；在检测中评估耐腐蚀性。