实物表面结构检测

检测项目

表面粗糙度测量：评估表面微观不平度算术平均粗糙度Ra值范围0.01-100μm最大高度粗糙度Rz精度±0.05μm

轮廓测量：分析表面线性轮廓形状轮廓曲线偏差测量范围±500μm曲率半径分辨率0.1μm

三维形貌分析：重建表面三维结构高度采样间距1μm空间分辨率10nm高度偏差范围±50μm

缺陷检测：识别表面瑕疵最小可检测尺寸0.05mm缺陷密度统计精度±2%

纹理分析：测量表面纹理方向纹理角度分辨率0.5°空间频率范围0.1-100μm⁻¹

涂层厚度测量：确定涂层或薄膜厚度厚度范围0.1-1000μm测量精度±0.5%

表面硬度测试：评估表面抗压强度硬度值HV加载力范围0.01-50N重复性±1%

残余应力分析：测量表面应力分布应力范围±2000MPa分辨率±5MPa

表面清洁度评估：检测污染物颗粒尺寸下限0.2μm覆盖率计算误差±3%

摩擦系数测量：确定表面摩擦特性静摩擦系数μs动摩擦系数μk重复性±0.01

光泽度测量：评估表面反射特性光泽单位GU范围0-2000分辨率±1GU

粘附力测试：测量表面附着性能粘附力范围0.01-10N精度±0.5%

检测范围

金属制品：机械零件工具表面质量控制

塑料零部件：注塑成型件表面缺陷分析

陶瓷材料：精密陶瓷表面结构完整性评估

涂层表面：油漆镀层厚度均匀性检测

半导体晶圆：硅片表面平整度缺陷检查

光学镜片：镜面光滑度曲率精度测量

纺织品：布料纹理毛绒分布分析

生物医学植入物：人工关节表面生物相容性评估

汽车零部件：发动机部件耐磨性测试

建筑材料：石材瓷砖粗糙度控制

电子元件：印刷电路板表面绝缘检测

复合材料：碳纤维层压板表面结构评价

检测标准

ISO4287几何产品规范表面纹理轮廓方法

GB/T1031产品几何技术规范表面粗糙度参数及其数值

ISO25178几何产品规范表面纹理区域方法

ASTME1127表面粗糙度测量标准

GB/T7990金属覆盖层厚度测量方法

ISO6507金属材料硬度测试

ASTMD3359涂层附着力试验

ISO4288表面粗糙度参数测量规则

GB/T4340金属维氏硬度试验

ISO14577材料硬度与模量测试

ASTME2546表面轮廓测量规范

检测仪器

表面粗糙度测量仪：采用触针扫描表面微观不平度功能输出RaRz值精度±0.02μm

激光扫描共聚焦显微镜：高分辨率三维形貌重建功能非接触测量表面高度分布分辨率10nm

白光干涉仪：基于光干涉原理轮廓分析功能精确重建表面微观结构测量范围±100μm

光学显微镜：表面缺陷可视化功能放大观察划痕孔隙放大倍数10-1000X

摩擦磨损试验机：模拟滑动接触摩擦性能评估功能测量摩擦系数载荷范围0.1-100N

残余应力分析仪：X射线衍射应力测量功能定量分析表面应力分布精度±10MPa