检测项目
相位精度、相位分辨率、相位线性度、插入损耗、插入损耗一致性、幅度一致性、输入电压驻波比(VSWR)、输出电压驻波比(VSWR)、端口隔离度（输入-输出）、端口隔离度（控制-射频）、谐波失真（二次谐波）、谐波失真（三次谐波）、交调失真（三阶截点）、相位切换时间、相位稳定性（温度）、相位稳定性（时间）、相位稳定性（电压）、幅度稳定性（温度）、幅度稳定性（时间）、幅度稳定性（电压）、控制电压范围、控制电流消耗、控制信号响应线性度、开关隔离度（数字控制型）、开关插入损耗（数字控制型）、开关切换时间（数字控制型）、功率容量（连续波）、功率容量（脉冲）、温度循环适应性、机械振动适应性、机械冲击适应性、盐雾腐蚀适应性（外壳）、密封性（气密型）、绝缘电阻、耐压强度检测范围
波导移相器、同轴移相器、微带线移相器、带状线移相器、铁氧体移相器（模拟式/数字式）、PIN二极管移相器（模拟式/数字式）、MEMS移相器（模拟式/数字式）、GaAsMMIC移相器芯片、GaNMMIC移相器芯片、SiGe移相器芯片、单片集成移相器模块（SIP）、多通道移相器阵列模块（Tile/Subarray级）、反射式移相器单元、传输式移相器单元、0-360度连续可调移相器单元、4-bit数字移相器单元、5-bit数字移相器单元、6-bit数字移相器单元、Ka波段卫星通信移相器模块、Ku波段雷达T/R组件内移相器单元、X波段有源相控阵天线单元内嵌移相器单元、S波段基站天线电调移相器模块、C波段电子对抗系统用宽带移相器模块、毫米波成像系统用小型化移相器单元、机载雷达T/R模块内集成移相器芯片弹载导引头用抗高过载移相器组件舰载雷达用抗盐雾腐蚀封装移相器模块星载SAR载荷用高可靠长寿命移相器单元地面固定站大口径天线阵面用分布式移相器组件测试与测量设备内置校准用精密参考移相源检测方法
***矢量网络分析仪(VNA)法：**核心方法。通过测量被测件(DUT)的S参数(S11,S21,S12,S22)，直接计算获得插入损耗(IL)、输入/输出驻波比(VSWR)、端口隔离度(Isolation)、相位差(ΔΦ)等关键参数。通过精确控制扫描频率点数和IF带宽优化测量精度与速度。***相位差直接测量法：**使用双通道微波信号源和相位计或具有相位测量功能的频谱分析仪/接收机。一路信号作为参考通过参考通道，另一路信号通过DUT进入测试通道。通过比较两路信号的相位差直接获得DUT引入的相位偏移量及其随控制电压/码的变化关系。***时域反射计(TDR)/时域传输计(TDT)：**利用VNA的时域变换功能或专用TDR/TDT设备。用于评估传输线结构完整性(如微带线断裂)、连接器/焊接点阻抗匹配状况以及定位DUT内部的不连续点位置和反射强度。***功率计法：**结合信号源和功率探头/功率计。用于精确测量DUT在特定工作状态下的绝对输入功率和输出功率，验证功率容量指标并辅助校准VNA的绝对幅度测量精度。***调制域分析/矢量信号分析(VSA)法：**对于评估高速切换的数字式移相器的瞬态响应至关重要。通过施加高速控制码序列并捕获射频输出的幅度和相位瞬态过程，精确测量相位切换时间(SettlingTime)、过冲(Overshoot)、下冲(Undershoot)以及切换过程中的寄生调制效应。***频谱分析仪法：**主要用于测量DUT在特定工作状态下的谐波失真(HD2,HD3...)和无源互调失真(PIM3,PIM5...)。通过向DUT输入单音或多音信号，分析输出信号的频谱成分。***高低温试验箱+在线测试法：**将DUT置于温控箱内，通过穿舱连接器和延长线缆连接至外部VNA或其他测试设备。在设定的温度点(-55C,+25C,+85C等)进行保温并稳定后，实时测量关键参数(如相位偏移量ΔΦ,IL)，评估其温度稳定性。***振动/冲击试验台+在线监测或前后对比测试法：**DUT安装在振动台或冲击台上执行规定的振动谱型(Grms)或冲击脉冲(G值/脉宽)。可在试验过程中进行有限参数的在线监测(如直流电阻或简单功能)，或在试验前后进行全面的电气性能复测以评估机械应力影响。***恒温恒湿箱+绝缘耐压测试仪：**DUT在高温高湿环境下(如40C,93%RH)放置规定时间后取出恢复至常温常湿状态。使用绝缘电阻测试仪(施加DC高压如500V)测量指定端子间绝缘电阻(MΩ级)。使用耐压测试仪(施加AC高压如1500Vrms)在规定时间内验证介质击穿强度。***盐雾试验箱+外观检查与功能测试：**DUT按标准规定角度放置于盐雾箱内暴露规定周期(如48h,96h)。试验结束后取出清洗干燥，进行外观检查(腐蚀等级评定)和基本电气功能复测。检测标准
GJB7243-2011《微波组件通用规范》
GJB548B-2005《微电子器件试验方法和程序》
GJB360B-2009《电子及电气元件试验方法》
GJB150A-2009《军用装备实验室环境试验方法》
GB/T2423.1-2008《电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温》
GB/T2423.2-2008《电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温》
GB/T2423.10-2019《环境试验第2部分:试验方法试验Fc:振动(正弦)》
GB/T2423.22-2012《环境试验第2部分:试验方法试验N:温度变化》
SJ20668-1998《微波铁氧体器件通用规范》
SJ/T11477-2014《微波毫米波单片集成电路测试方法》
IEC60115-8:2009《电子设备用固定电阻器-第8部分:分规范-表面安装固定电阻器》(相关测试方法可参考)
MIL-STD-202H:2015《电子电气元件试验方法》
MIL-STD-883K:2016《微电子器件试验方法和程序》检测仪器
***矢量网络分析仪(VNA)：**(如KeysightPNA/PNA-X系列,R&SZVA/ZNB系列)核心仪器。用于精确测量S参数以获取插入损耗(IL)、回波损耗/驻波比(RL/VSWR)、隔离度(Isolation)、群延迟(GD)以及最重要的相对相位差(ΔΦ)。需覆盖被测件工作频段并具备足够动态范围与迹线噪声指标。***微波信号发生器：**(如KeysightPSG/E8267D系列,R&SSMA100B/SMW200A系列)提供纯净稳定的激励信号源。需具备频率合成精度高(<0.1ppm)、相位噪声低(<-110dBc/Hz@10kHzoffset)、输出功率范围宽且可控性好等特点。***频谱分析仪(SA)/矢量信号分析仪(VSA)：**(如KeysightN9040BUXA系列,R&SFSW系列)用于谐波失真(HD)、无源互调(PIM)测量及调制域分析。VSA特别适用于数字式移相器的瞬态响应(切换时间)和动态误差矢量幅度(EVM)评估。***功率计与功率传感器：**(如KeysightU2000/N8480系列热电偶传感器,R&SNRP-Zxx热敏功率探头)提供射频/微波信号的绝对功率测量基准，用于校准VNA幅度精度及验证DUT的功率处理能力。***精密直流电源：**(如KeysightB2900系列,Keithley2400系列)为模拟式或混合式多极移相器的控制端口提供高精度(<0.1%)低纹波(<1mVrms)的偏置电压/电流。多通道电源可独立控制多个控制端。***数字信号发生器/码型发生器：**(如KeysightM8000系列,TektronixAWG70000系列)为高速数字式多极移相器的控制逻辑端口提供精确时序(<100ps抖动)、高速率(<1GHz时钟)、多通道同步的数字码型激励信号。***高低温温控试验箱：**(如ESPECT系列,ThermotronSM系列)提供宽温范围(-70C至+180C或更宽)、高均匀度(<1C@-40C~+125C)、快速变温速率的环境模拟能力。需配备射频穿舱连接器和延长电缆。***振动控制系统与振动台：**(如LDSV9XX系列,Unholtz-DickieUD系列)执行正弦扫频振动和随机振动谱型测试(Grms值可达几十至上百g)。需配备专用夹具固定DUT并通过滑环或无线遥测传输有限测试信号。***冲击试验机：**(如LansmontM23/M30系列)产生规定波形(半正弦波/后峰锯齿波/梯形波)、峰值加速度(G值可达数千g以上)、脉宽可控的标准冲击脉冲以考核DUT的抗机械冲击能力。***绝缘电阻测试仪/耐压测试仪：**(如MeggerMIT400系列,HIOKIST5520系列)分别用于施加直流高压测量绝缘电阻(MΩ~GΩ级)和交流高压验证介质耐压强度(kV级)，确保DUT内部及端口间的电气安全隔离性能符合要求。***盐雾腐蚀试验箱：**(如Q-FOGCCT系列,AscottS450系列)模拟海洋大气环境条件(NSS/AASS/CASS)，按标准规定浓度(5%NaCl溶液)、温度(35C/50C)、沉降率进行喷雾暴露试验后评估材料与镀层耐腐蚀性。***精密万用表/数据采集系统：**(如Keysight34470A,NIPXIe-408x)用于精确监测控制端电压电流值以及辅助传感器(温度传感器等)的输出信号。
