高纯氯气体质量检测

检测项目

氯气纯度、水分含量、氧气含量、氮气含量、二氧化碳含量、总烃含量、氢气含量、颗粒物浓度、酸度（以HCl计）、碱度（以NaOH计）、硫化物总量、氯化物残留量、金属离子（Fe⁺/Cu⁺/Ni⁺/Cr⁺/Zn⁺）、砷含量、汞蒸气浓度、有机杂质（CHCl₃/CCl₄）、不凝性气体总量、露点温度测定、密度测定、压缩系数分析、爆炸极限测试、毒性物质筛查、氧化性物质检测、气相杂质谱分析、液相残留物检验、压力稳定性评估、输送系统兼容性测试、吸附性能验证、热稳定性试验、光化学活性评价。

检测范围

电子级高纯氯（99.999%以上）、工业级液氯钢瓶气、半导体蚀刻用氯气、光伏材料制备用氯气、医药中间体合成用氯气、水处理消毒用氯气、PVC生产原料气、稀土金属提纯用氯气、锂电池电解液合成用氯气、光纤预制棒加工用氯气、军用特种材料处理用氯气、实验室标定用基准氯气、食品级消毒系统用氯气、核工业级密封容器装氯气、航天推进剂原料氯气、超临界流体萃取用氯气、纳米材料合成反应气、低温制冷系统载气用氯气、环境监测校准用标准氯气、危险品运输容器残留气体分析样品。

检测方法

气相色谱-质谱联用法（GC-MS）用于痕量有机物及轻组分杂质分析；傅里叶变换红外光谱法（FTIR）实现分子结构特征识别；紫外可见分光光度法测定特定吸收波长下的杂质浓度；激光拉曼光谱法进行非接触式原位成分分析；库仑滴定法精确测定微量水分；化学发光法检测ppb级含氮化合物；电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）完成超痕量金属元素定量；气相渗透色谱法（GPC）评估高分子量杂质分布；低温冷凝富集技术结合质谱联用提升检出限；动态稀释配气系统实现标准气体精准配制。

检测标准

GB/T14601-2020《电子工业用气体高纯氯》、ISO21258:2010《固定源排放-高浓度一氧化二氮的测定》、ASTME260-2021《气相色谱标准规程》、JISK0225:2018《高纯卤素气体分析方法》、SEMIC3.45-0721《电子级氯气规范》、DINEN13726-2022《医疗气体系统用高压连接件》、BSENISO6145-7:2018《气体分析动态体积法制备校准混合气体》、USP<467>《残留溶剂测定通则》、IEC60754-2:2019《材料燃烧释出气体中卤酸含量的测定》、AQ/T4256-2015《工作场所空气有毒物质测定氯化物》。

检测仪器

高精度气相色谱仪配备TCD/FID双检测器系统实现多组分同步分析；四级杆质谱仪具备ppq级检出限的痕量杂质识别能力；激光水分分析仪采用可调谐二极管激光吸收光谱技术（TDLAS）；全自动露点仪满足-100℃~+20℃宽范围测量需求；纳米级颗粒计数器符合ISO21501校准规范；高温裂解-原子吸收光谱联用系统用于金属杂质形态分析；在线FTIR监测系统实现工艺管道实时成分监控；超高压气体采样钢瓶采用316L电解抛光内表面处理技术；防腐蚀型气体预处理装置集成多级过滤与温压补偿功能；移动式应急检测车搭载全套现场快速分析模块。