检测项目
真空度测量、漏率测试、气体成分分析、放气率测定、渗透率评估、密封性能验证、残余气体浓度检测、真空室洁净度评价、材料放气特性测试、真空系统抽速校准、冷阱效率验证、真空计校准、质谱分析灵敏度测试、氦检漏定位、真空维持时间测定、气体吸附量分析、真空镀膜均匀性检测、真空热处理效果验证、电子枪工作稳定性测试、粒子污染度监测、真空断路器性能评估、低温泵效率测试、分子泵振动分析、真空阀门密封性检验、真空包装完整性测试、空间环境模拟验证、等离子体密度测量、辉光放电特性分析、真空干燥效率评估检测范围
航天器推进系统、半导体镀膜设备、粒子加速器真空腔体、低温超导装置、医用灭菌包装材料、锂电池封装壳体、OLED蒸镀设备、卫星热控系统部件、核聚变实验装置、冷冻干燥机腔体、电子显微镜镜筒、高能激光器光路系统、工业炉钎焊设备、食品真空包装袋、光伏组件层压设备、汽车灯具密封件、航空燃油系统部件、科研用超高真空室、工业检漏仪校准装置、药品冻干机冷凝器、电力变压器油箱密封件、制冷压缩机壳体焊缝检验件检测方法
1.静态升压法：通过监测密闭系统压力变化速率计算漏率2.氦质谱检漏法：使用示踪气体定位微米级泄漏点3.四极质谱分析法：解析残余气体分子量分布4.电离规校准法：采用标准比对源修正测量误差5.热传导法：基于气体导热系数差异测定中低真空度6.磁悬浮转子规：利用分子动量传递原理测量极高真空7.放射性同位素示踪法：检测特殊工况下的渗透泄漏8.激光干涉检漏法：非接触式测量微小形变定位泄漏9.累积检漏法：长时间收集泄漏气体进行总量分析10.动态流量法：通过稳定气流平衡计算系统抽速检测标准
ISO21360:2019真空技术-容积真空泵性能测量方法
ASTME2931-13氦质谱检漏仪校准标准规程
GB/T3163-2007真空技术术语
ISO1608-1:2020蒸汽喷射真空泵性能测试方法
JISZ8751:2019真空计校准通则
GB/T32218-2015真空技术-涡轮分子泵性能测试规范
ISO3529-3:2021真空技术-词汇-第3部分：检漏
ASTMF2338-09(2020)包装件真空衰减法密封性试验方法
GB/T6070-2007真空法兰技术条件
ISO27893:2011真空技术-质谱型检漏仪的校准检测仪器
1.电容薄膜规：测量10^-4~10^3Pa范围压力值2.冷阴极电离规：适用于10^-6~10^-1Pa高真空测量3.残余气体分析仪（RGA）：四极杆质谱结构的气体成分分析设备4.氦质谱检漏仪：灵敏度达10^-12Pam/s的精密检漏装置5.磁悬浮转子规：可测至10^-8Pa的超高真空标准仪表6.热传导规（皮拉尼计）：用于粗低真空测量的经济型传感器7.分子泵测试台：包含标准容积与流量计的抽速校准系统8.激光干涉检漏系统：基于多普勒效应的非接触式泄漏定位装置9.渗透炉校准装置：用于产生标准漏率的基准设备10.动态流量计：由精密孔板与压力传感器组成的抽速测量模块
