检测项目
静电电荷面密度检测主要包含以下核心项目：材料表面单位面积静电荷量测定、电荷分布均匀性分析、表面电位梯度测量以及环境温湿度对电荷保持率的影响评估。针对不同材质特性需分别进行导体/半导体材料的直接测量与绝缘体材料的间接推算检测。特殊应用场景还需增加动态摩擦起电测试与静电消散时间测定等扩展项目。
检测范围
本检测适用于五大类材料体系：①半导体晶圆及电子封装材料的表面洁净度控制；②高分子薄膜材料的抗静电改性效果验证；③防静电纺织品的电荷屏蔽效能评价；④航空航天复合材料的静电积聚风险评估；⑤医疗器械塑料部件的生物静电兼容性测试。其中在微电子制造领域需满足ISO14309标准规定的10^-9C/mm级检测精度要求。
检测方法
标准检测方法体系包含三类主流技术：非接触式旋转电场探针法（依据ASTMD4470标准），通过测量垂直方向电场强度反演面电荷密度；振动电容式表面电位法（符合IEC61340-4-1规范），采用动态补偿原理实现0.1kV/m分辨率；同步辐射X射线光电子能谱法（参照JISL1094标准），适用于纳米级薄膜材料的元素态电荷分析。特殊工况下可组合使用瞬态电流积分法与红外热成像定位技术。
检测仪器
检测流程
确定测试对象与安排：确认测试对象并进行初步检查，确定样品寄送或上门采样安排；
制定验证实验方案：与委托方确认与协商实验方案，验证实验方案的可行性和有效性；
签署委托书：签署委托书，明确测试详情，确定费用，并按约定支付；
进行实验测试：按实验方案进行试验测试，记录数据，并进行必要的控制和调整；
数据分析与报告：分析试验数据，并进行归纳，撰写并审核测试报告，出具符合要求的测试报告，并及时反馈测试结果给委托方。
